| 发明名称 |
CONTINUOUS FILM FORMING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03267372(A) |
申请公布日期 |
1991.11.28 |
| 申请号 |
JP19900066789 |
申请日期 |
1990.03.19 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
UEDA FUMIOMI;KOBAYASHI TETSUO;YOSHIDA TOSHIHIRO;KAGAWA MASAYOSHI |
| 分类号 |
C23C14/54;C23C14/56;H01L21/203;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 |
主分类号 |
C23C14/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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