发明名称 FORMATION OF THIN FILM BY SPUTTERING
摘要
申请公布号 JPH03267362(A) 申请公布日期 1991.11.28
申请号 JP19900067304 申请日期 1990.03.19
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YAMADA KIYOMITSU
分类号 C30B23/08;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/34;H01B13/00;H01L21/203;H01L39/24 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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