发明名称 PROCESSO DI DEFINIZIONE E REALIZZAZIONE DI UNA REGIONE ATTIVADI DIMENSIONI MOLTO RIDOTTE IN UNO STRATO DI MATERIALE SEMICONDUTTORE
摘要
申请公布号 IT1231300(B) 申请公布日期 1991.11.28
申请号 IT19890021281 申请日期 1989.07.24
申请人 SGS THOMSON MICROELECTRONICS SRL 发明人 GIUSEPPE FERLA;PAOLO LANZA;CARMELO MAGRO
分类号 H01L29/78;H01L21/033;H01L21/265;H01L21/32;H01L21/336;(IPC1-7):H01L/ 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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