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经营范围
发明名称
ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH03267385(A)
申请公布日期
1991.11.28
申请号
JP19900065679
申请日期
1990.03.16
申请人
FUJITSU LTD
发明人
KANEMITSU HIDEYUKI;HOSHINO EIICHI
分类号
C23F1/00;H01L21/306
主分类号
C23F1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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