发明名称 FILM FORMATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03267371(A) 申请公布日期 1991.11.28
申请号 JP19900067623 申请日期 1990.03.16
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SATO KIYOSHI;FUJIWARA YOSHIAKI;HASHIMOTO KAZUYUKI
分类号 C23C14/24;C23C14/34;C23C14/50 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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