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经营范围
发明名称
FILM FORMATION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH03267371(A)
申请公布日期
1991.11.28
申请号
JP19900067623
申请日期
1990.03.16
申请人
FUJITSU LTD
发明人
SATO KIYOSHI;FUJIWARA YOSHIAKI;HASHIMOTO KAZUYUKI
分类号
C23C14/24;C23C14/34;C23C14/50
主分类号
C23C14/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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