发明名称 HALBLEITERVORRICHTUNG.
摘要
申请公布号 DE3773957(D1) 申请公布日期 1991.11.28
申请号 DE19873773957 申请日期 1987.03.02
申请人 KANEGAFUCHI KAGAKU KOGYO K.K., OSAKA, JP 发明人 KOBAYASHI, KENJI;KONDO, MASATAKA;TSUGE, KAZUNORI;TAWADA, YOSHIHISA, KOBE-SHI HYOGO-KEN, JP
分类号 H01L31/04;H01L21/28;H01L29/40;H01L29/43;H01L31/0224;H01L31/0376;H01L31/075;(IPC1-7):H01L31/02;H01L21/285 主分类号 H01L31/04
代理机构 代理人
主权项
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