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发明名称 GROWTH OF III-V COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH03266422(A) 申请公布日期 1991.11.27
申请号 JP19900064325 申请日期 1990.03.16
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KODAMA KUNIHIKO;OZEKI MASASHI;OTSUKA NOBUYUKI
分类号 H01L21/205;H01L21/263 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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