发明名称 Phosphide films produced by pulsed plasma deposition
摘要
申请公布号 GB2244285(A) 申请公布日期 1991.11.27
申请号 GB19910009603 申请日期 1991.05.03
申请人 * NORTHERN TELECOM LIMITED 发明人 RUDOLF AUGUST HERBERT * HEINECKE;GEOFFREY ALAN * SCARSBROOK
分类号 C23C16/30;C23C16/509;C23C16/515 主分类号 C23C16/30
代理机构 代理人
主权项
地址