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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03266434(A) 申请公布日期 1991.11.27
申请号 JP19900065127 申请日期 1990.03.15
申请人 FUJITSU LTD 发明人 HONDA TAKUYA
分类号 H01L21/336;H01L21/205;H01L21/316;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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