发明名称 SURFACE-SHAPE MEASURING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH03264804(A) 申请公布日期 1991.11.26
申请号 JP19900064789 申请日期 1990.03.15
申请人 ANRITSU CORP 发明人 TANAKA MITSUO;SUZUKI TAKASHI
分类号 G01B11/24 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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