发明名称 TURBO MOLECULAR PUMP
摘要
申请公布号 JPH03264795(A) 申请公布日期 1991.11.26
申请号 JP19900063117 申请日期 1990.03.14
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YAMAZAKI YUTAKA;MARUNO MASAHARU
分类号 F04D19/04 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
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