发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE WITH MULTILAYER BASE CONTACT
摘要
申请公布号 US5068710(A) 申请公布日期 1991.11.26
申请号 US19890396687 申请日期 1989.08.22
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 OWADA, NOBUO;HORIUCHI, MITSUAKI;TSUNEOKA, MASATOSHI;TANEOKA, TADAYUKI
分类号 H01L29/43;H01L21/02;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/331;H01L29/45;H01L29/73;H01L29/732 主分类号 H01L29/43
代理机构 代理人
主权项
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