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发明名称 MANUFACTURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03265146(A) 申请公布日期 1991.11.26
申请号 JP19900064949 申请日期 1990.03.15
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 ISHII MANABU
分类号 H01L29/812;H01L21/338;H01L29/417 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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