发明名称 METODO PER LA FABBRICAZIONE DI UNA MASCHERA.
摘要
申请公布号 IT9021589(A1) 申请公布日期 1991.11.26
申请号 IT19900021589 申请日期 1990.09.27
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM YONG-HYEON
分类号 G03F1/29;G03F1/68;H01L21/00;H01L21/027 主分类号 G03F1/29
代理机构 代理人
主权项
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