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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH03265156(A) 申请公布日期 1991.11.26
申请号 JP19900064808 申请日期 1990.03.15
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 TAKASU HIROAKI
分类号 H01L21/762;H01L21/02;H01L21/265;H01L21/76;H01L27/12 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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