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发明名称 VAPOR GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH03263822(A) 申请公布日期 1991.11.25
申请号 JP19900063658 申请日期 1990.03.14
申请人 KYUSHU ELECTRON METAL CO LTD;OSAKA TITANIUM CO LTD 发明人 OTSUBO TOSHIRO
分类号 H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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