发明名称 SPRAY CLEANING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH03263831(A) 申请公布日期 1991.11.25
申请号 JP19900060936 申请日期 1990.03.14
申请人 DAN KURIIN PURODAKUTO:KK 发明人 SASAKI MICHIHITO
分类号 H01L21/304;B08B3/02 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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