| 发明名称 |
METHOD FOR THE PRODUCTION OF A TITANIYM/TITANIUM NITRIDE DOUBLE LAYER |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR910009608(B1) |
申请公布日期 |
1991.11.23 |
| 申请号 |
KR19880001268 |
申请日期 |
1988.02.10 |
| 申请人 |
SIEMENS AG. |
发明人 |
CHOLHAJE ARMIN;HIGELLIN GERALD |
| 分类号 |
H01L21/28;C23C14/06;C23C14/34;H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/285 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
