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发明名称
摘要
申请公布号	JPH0373635(B2)	申请公布日期	1991.11.22
申请号	JP19850297788	申请日期	1985.12.26
申请人	ANELVA CORP	发明人	FUKUSHIMA SHIRO;NANBU TETSUO;NAGATA NOBUO;YOSHIOKA KATSUYA
分类号	C23C14/56;C23C14/54	主分类号	C23C14/56
代理机构		代理人
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