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发明名称
CRYSTAL GROWTH METHOD FOR COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号
JPH03261134(A)
申请公布日期
1991.11.21
申请号
JP19900057881
申请日期
1990.03.12
申请人
FUJITSU LTD
发明人
TAKEUCHI TATSUYA;KUSUKI TOSHIHIRO
分类号
H01L21/208
主分类号
H01L21/208
代理机构
代理人
主权项
地址
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