发明名称 MANUFACTURE OF MOS TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03262131(A) 申请公布日期 1991.11.21
申请号 JP19900061480 申请日期 1990.03.13
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 NARA HAJIME
分类号 H01L29/78;H01L21/265;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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