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发明名称
ETCHING METHOD FOR COPPER-BASED METALLIC MATERIAL
摘要
申请公布号
JPH03260077(A)
申请公布日期
1991.11.20
申请号
JP19900060315
申请日期
1990.03.12
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
OGAWA YOSHIAKI;NOGUCHI HIROYUKI;NAGABUCHI YOJI;HARUYAMA MITSURU
分类号
C23F1/00;H05K3/06
主分类号
C23F1/00
代理机构
代理人
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