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发明名称
CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
摘要
申请公布号
JPH03261057(A)
申请公布日期
1991.11.20
申请号
JP19900057730
申请日期
1990.03.08
申请人
JEOL LTD
发明人
SAWARAGI HIROSHI;ASARI TOSHIHIRO
分类号
H01J37/147
主分类号
H01J37/147
代理机构
代理人
主权项
地址
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