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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH03259537(A) 申请公布日期 1991.11.19
申请号 JP19900056398 申请日期 1990.03.09
申请人 HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP 发明人 TSUNODA HIDEKI;YOSHIDA ISAO;GOSHIMA HIDEKAZU;OTAKA SHIGEO;ISHIZAKA KATSUO;KASHU NOBUYOSHI
分类号 H01L21/322;H01L21/336;H01L29/32;H01L29/78 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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