发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03257822(A) 申请公布日期 1991.11.18
申请号 JP19900055537 申请日期 1990.03.07
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 KUNIYASU TOSHIAKI
分类号 H01L21/306;H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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