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发明名称 BOTH SURFACE PROCESSING EQUIPMENT OF SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH03257922(A) 申请公布日期 1991.11.18
申请号 JP19900056906 申请日期 1990.03.08
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OKUYAMA SHOICHI;SUGANO TATEO
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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