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发明名称 METHOD OF MANUFACTURE OF SILICON UNIT OF INSTRUMENT
摘要
申请公布号 SU1691908(A1) 申请公布日期 1991.11.15
申请号 SU19894749508 申请日期 1989.10.16
申请人 NII FIZICHESKIKH IZMERENIJ 发明人 SHPILEV YURIJ N,SU;MIKHAJLOV PETR G,SU;KOSOGOROV VALERIJ M,SU;MAKEEV ALEKSEJ I,SU
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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