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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTING DEVICE
摘要
申请公布号 SU1691910(A1) 申请公布日期 1991.11.15
申请号 SU19884604619 申请日期 1988.11.14
申请人 TIKHANKOV NIKOLAJ V,SU;FEDONIN ALEKSANDR S,SU;SAVCHENKO LYUDMILA A,SU;DEMCHENKO LYUDMILA V,SU 发明人 TIKHANKOV NIKOLAJ V,SU;FEDONIN ALEKSANDR S,SU;SAVCHENKO LYUDMILA A,SU;DEMCHENKO LYUDMILA V,SU
分类号 H01L21/607 主分类号 H01L21/607
代理机构 代理人
主权项
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