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发明名称 ANORDNUNG ZUR IONENSTRAHLBEARBEITUNG VON FESTKOERPEROBERFLAECHEN
摘要
申请公布号 DD295946(A5) 申请公布日期 1991.11.14
申请号 DD19880321329 申请日期 1988.11.02
申请人 CARL ZEISS JENA GMBH,DE 发明人 SCHINDLER,AXEL,DE;HAENSEL,THOMAS,DE;BIGL,FRIEDER,DE;REMER,MANFRED,DE;NICKEL,ANDREAS,DE;RETSCHKE,BERNHARD,DE;ULLRICH,GERT,DE
分类号 H01J37/147;(IPC1-7):H01J37/147 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
主权项
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