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发明名称 FORMATION OF DISTORTED FIELD ON SILICON WAFER
摘要
申请公布号 JPH03255634(A) 申请公布日期 1991.11.14
申请号 JP19900054085 申请日期 1990.03.05
申请人 NEC CORP 发明人 KUSUMI YOSUKE
分类号 H01L21/322 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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