发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH03255632(A) 申请公布日期 1991.11.14
申请号 JP19900054522 申请日期 1990.03.05
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KATO TAKASHI;HOSHINO KAZUHIRO
分类号 H01L23/52;H01L21/28;H01L21/3205 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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