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发明名称 VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG DUENNER SUPRALEITENDER SCHICHTEN AUF SILICIUMSUBSTRATEN
摘要
申请公布号 DD295953(A5) 申请公布日期 1991.11.14
申请号 DD19880314978 申请日期 1988.04.22
申请人 AKAD WISSENSCHAFTEN 发明人 BECKER,SABINE,DE;DIETZE,HANS-JOACHIM,DE;POMPE,WOLFGANG,DE
分类号 H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 主分类号 H01L39/24
代理机构 代理人
主权项
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