发明名称 ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03255694(A) 申请公布日期 1991.11.14
申请号 JP19900054745 申请日期 1990.03.05
申请人 AIRETSUKUSU:KK;TOUKIYOU KAKOUKI KK 发明人 TAKEMASA HIROSHI;SAKAI KAZUHIRO
分类号 C23F1/08;H05K3/06 主分类号 C23F1/08
代理机构 代理人
主权项
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