发明名称 LOW TEMPERATURE SELECTIVE EPITAXIAL GROWTH METHOD
摘要
申请公布号 JPH03255620(A) 申请公布日期 1991.11.14
申请号 JP19900054255 申请日期 1990.03.05
申请人 DAIDO SANSO KK 发明人 KUROMIYA SHIGERU;OKUMURA TAKESHI;OKUMURA KENJI;YOSHINO AKIRA
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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