发明名称 TRIMMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH03255658(A) 申请公布日期 1991.11.14
申请号 JP19900054083 申请日期 1990.03.05
申请人 NEC CORP 发明人 TANAKA SUMIHIRO
分类号 H01L27/01 主分类号 H01L27/01
代理机构 代理人
主权项
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