RESOLVING POWER MEASURING SAMPLE AND MEASURING METHOD OF PARTICLE BEAM DEVICE,申请号JP19900053655-传众专利搜索

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发明名称	RESOLVING POWER MEASURING SAMPLE AND MEASURING METHOD OF PARTICLE BEAM DEVICE
摘要
申请公布号	JPH03255929(A)	申请公布日期	1991.11.14
申请号	JP19900053655	申请日期	1990.03.07
申请人	HITACHI LTD	发明人	OTAKA TADASHI
分类号	G01N1/28;H01J37/04	主分类号	G01N1/28
代理机构		代理人
主权项
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