| 发明名称 |
EVALUATION OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT INTERCONNECTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03254126(A) |
申请公布日期 |
1991.11.13 |
| 申请号 |
JP19900053230 |
申请日期 |
1990.03.05 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
HIRAOKA KAZUNORI |
| 分类号 |
H01L21/3205;G01R31/26;G01R31/28;G01R31/30;H01L21/66;H01L23/52 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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