首页 产品 黄页 商标 征信
会员服务 注册 登录 
全部
 |
企业名
 |
法人/股东/高管
 |
品牌/产品
 |
地址
 |
经营范围
发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR THE TRANSFER OF WAFERS IN A VERTICAL CVD DIFFUSION APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0381338(A3) 申请公布日期 1991.11.13
申请号 EP19900300534 申请日期 1990.01.18
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO., LTD. 发明人 HARADA, YASUHIRO;KARINO, TOSHIKAZU;SAITO, RYOJI;TOMETSUKA, KOJI;IZUMI, SHOICHIRO
分类号 H01L21/22;C23C16/54;H01L21/205;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
©  2024 传众  czvv.com