| 发明名称 |
ELLIPTICAL ION BEAM DISTRIBUTION METHOD AND APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0428319(A3) |
申请公布日期 |
1991.11.13 |
| 申请号 |
EP19900312164 |
申请日期 |
1990.11.07 |
| 申请人 |
EATON CORPORATION |
发明人 |
BENVENISTE, VICTOR MAURICE |
| 分类号 |
H01J27/08;H01J27/20;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/08 |
主分类号 |
H01J27/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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