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经营范围
发明名称
METHOD AND APPARATUS FOR HANDLING SEMICONDUCTOR WAFERS
摘要
申请公布号
EP0405301(A3)
申请公布日期
1991.11.13
申请号
EP19900111561
申请日期
1990.06.19
申请人
APPLIED MATERIALS INC.
发明人
MURDOCH, STEVEN
分类号
H01L21/677;B65G49/07;H01L21/683;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/00
主分类号
H01L21/677
代理机构
代理人
主权项
地址
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