发明名称 ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH03254055(A) 申请公布日期 1991.11.13
申请号 JP19900049304 申请日期 1990.03.02
申请人 HITACHI LTD 发明人 HOSOI NORIFUNE;MISAWA YUTAKA;KIMOTO KOJI
分类号 H01J37/20 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
地址