太阳能选择性吸收膜及制备

摘要

本发明涉及的是一种应用于太阳能平板集热器及真空管集热器金属板芯的氮氧化铝太阳能选择性吸收膜层。该膜层采用磁控溅射铝靶在氩气和反应气体氮、氧的气氛中溅射沉积在光亮处理过的金属吸热板上，以金属吸热板作为红外反射层，在不断改变氮氧流量和负偏压中溅射沉积AlN_xO_y的金属陶瓷型渐变吸收膜层。由于在制备时采用对金属的轰击清洗及负偏压等措施。使膜层与基体结合良好，并在膜层表面沉积一层氧化铝薄膜，具有减反射保护作用，从而提高了抗磨、抗腐蚀性能。其吸收率α＝0.90-0.94，红外发射率ε＝0.07-0.12。

主权项

1、一种太阳能平板集热器及热管式真空管集热器金属板芯的太阳能选择性吸收膜。其特征在于在光亮处理过的金属吸热板芯上沉积一层铝-氮-氧金属陶瓷型渐变膜，厚度为0.1×10-6-0.5×10-6m，再在其上沉积一层氧化铝减反射保护膜。