单晶硅直径控制法及其设备

摘要

单晶硅直径的一种控制方法，在单晶硅边相对于坩埚转动边受提拉的单晶硅制造过程中，将光学装置测出的提拉单晶的直径测定值与要求直径值进行比较，以确定偏差，再对得出的偏差进行不完全微分PID处理或史密斯法处理，以计算提拉速度，再将提拉速度加到晶体提拉设备的电动机控制器上，从而通过控制提拉速度控制提拉单晶的参数。为完成上述单晶硅直径的一种控制方法的设备，包括输入装置、不完全微分PID计算装置和输出装置。

主权项

1、单晶硅直径的一种控制方法，用以按晶体提拉速度控制相对于坩埚转动的提拉单晶的直径，其特征在于，它包括下列步骤： 将光学装置所测出的所述提拉单晶的直径测定值与要求的直径值进行比较，以确定偏盖； 对所述偏盖进行不完全微分PID处理，以计算单晶的提拉速度；然后 将所述单晶提拉速度作为指令加到提拉装置上，将所述提拉单晶的直径控制在所要求的直径上。