发明名称 ETCHING DATA FORMING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH03253579(A) 申请公布日期 1991.11.12
申请号 JP19900050021 申请日期 1990.02.28
申请人 NEC CORP 发明人 TOMOTA HIROSHI
分类号 C23F1/00;H05K3/06 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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