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发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03253564(A) 申请公布日期 1991.11.12
申请号 JP19900052269 申请日期 1990.03.02
申请人 SHINKO SEIKI CO LTD;OURA KENJIROU 发明人 OURA KENJIROU;IKUJI FUMIYA
分类号 C23C14/34;C23C14/35 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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