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发明名称 METHOD OF CONTACT PRODUCTION FOR THIN LAYER HYBRID INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号 CS9002176(A2) 申请公布日期 1991.11.12
申请号 CS19900002176 申请日期 1990.05.02
申请人 CVUT-FAKULTA ELEKTROTECHNICKA,CS 发明人 RYSANEK VLADIMIR PROF. ING. DRSC.,CS;STRBIK FRANTISEK,CS;MAREK CESTMIR ING.,CS
分类号 H01L21/283;H01L21/84;(IPC1-7):H01L21/283 主分类号 H01L21/283
代理机构 代理人
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