发明名称 HEATER IN VACUUM VESSEL
摘要
申请公布号 JPH03253572(A) 申请公布日期 1991.11.12
申请号 JP19900049554 申请日期 1990.03.02
申请人 MITSUBISHI HEAVY IND LTD 发明人 IKEDA KOJI;UCHIDA SATOSHI;HAMAMOTO KAZUHITO;SUZUKI TETSUYA;MURATA MASAYOSHI;KODAMA KATSU
分类号 C23C16/46 主分类号 C23C16/46
代理机构 代理人
主权项
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