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发明名称
HEAT-TREATING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH03253024(A)
申请公布日期
1991.11.12
申请号
JP19900049381
申请日期
1990.03.02
申请人
HITACHI LTD;HITACHI TOBU SEMICONDUCTOR LTD
发明人
AMANO TOMOAKI
分类号
H01L21/205;H01L21/22
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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