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发明名称 SCANNING TUNNELING MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH03252504(A) 申请公布日期 1991.11.11
申请号 JP19900052126 申请日期 1990.03.02
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SUMITA KUNYU;TANAKA HIDEYUKI;UDAGAWA SHOJI;WATANABE YOSHIO
分类号 G01B7/34;G01N37/00;G01Q40/00;G01Q60/10;G01R1/06;H01J37/28 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
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