发明名称 |
TUNNELING CURRENT DETECTING DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH03252502(A) |
申请公布日期 |
1991.11.11 |
申请号 |
JP19900049581 |
申请日期 |
1990.03.02 |
申请人 |
CANON INC |
发明人 |
NOSE HIROYASU;KAWASE TOSHIMITSU;MIYAZAKI TOSHIHIKO;OGUCHI TAKAHIRO;YAMANO AKIHIKO |
分类号 |
G01B7/34;G01Q60/10;G01Q60/16;G01Q70/02;H01J37/28 |
主分类号 |
G01B7/34 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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