发明名称 TUNNELING CURRENT DETECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03252502(A) 申请公布日期 1991.11.11
申请号 JP19900049581 申请日期 1990.03.02
申请人 CANON INC 发明人 NOSE HIROYASU;KAWASE TOSHIMITSU;MIYAZAKI TOSHIHIKO;OGUCHI TAKAHIRO;YAMANO AKIHIKO
分类号 G01B7/34;G01Q60/10;G01Q60/16;G01Q70/02;H01J37/28 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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